Gasbeskrivning
Tetrafluorkol, även känd som tetrafluormetan. Färglös, luktfri och luktfri gas. Olöslig i vatten, 0,0015 vid 25 ℃ under normalt tryck, löslig i kloroform och bensen. Denna produkt är giftfri och ej brandfarlig. Vid höga koncentrationer har det en bedövningseffekt. Dess högren gas och dess blandning med högrent syre är för närvarande den mest använda plasmaetsningsgasen inom mikroelektronikindustrin. Chemicalbook kan också användas som lågtemperaturköldmedium och isoleringsmedium. God kemisk och termisk stabilitet, inert mot många reagenser, inte hydrolyserad vid 1000 ℃. Det reagerar inte med koppar, nickel och volfram vid rumstemperatur. På grund av den starka kemiska stabiliteten hos CF-bindningen kan perfluorkolväten som representeras av CF4 anses vara väsentligen icke-toxiska.
Huvudsakliga användningsområden
Koltetrafluorid är för närvarande den mest använda plasmaetsningsgasen inom mikroelektronikindustrin. Det används ofta för etsning av tunnfilmsmaterial som kisel, kiseldioxid, kiselnitrid, fosforsilikatglas och volfram. Det används också i stor utsträckning inom ytrengöring av elektroniska enheter, produktion av solceller, laserteknik, lågtemperaturkylning, gasisolering, läckagedetekteringsmedel, attitydkontroll av rymdraketer, rengöringsmedel, smörjmedel och bromsvätskor i produktion av tryckta kretsar. . På grund av sin starka kemiska stabilitet kan CF4 även användas i industrier som metallsmältning och plast.
Förvaring och försiktighetsåtgärder
Förvaras i ett svalt och ventilerat lager avsett för icke brännbar gas. Håll dig borta från gnistor och värmekällor. Förvaringstemperaturen bör inte överstiga 30 ℃. Det bör förvaras separat från brännbara material och oxidanter, och blandad lagring bör undvikas. Förvaringsutrymmet bör utrustas med nödutrustning för läckor.
