effekt
I den elektroniska gasfamiljen används silan, fosfan, boran och arsan i stor utsträckning och är extremt viktiga råvaror för IC-tillverkning. Fosfoan är en viktig dopningskälla av N-typ vid tillverkning av halvledarenheter, och det används också i processer som polykisel kemisk ångutfällning, epitaxiella GaP-material, jonimplantation, MOCVD-process och beredning av passiva filmer på fosforkiselglas (PSG).
PH3, brandfarlig, explosiv, mycket giftig, med toxicitetsnivåer på PEL/TLV 0,3 ppm, STEL 1 ppm, LC50 20 ppm, IDLH 200 ppm, är ett mycket giftigt farligt ämne.
Nödberedskap och kassering
1、 Nödberedskap vid läckage
Evakuera snabbt personal från det förorenade området till uppvinden och isolera dem omedelbart i 450 meter, med strikta restriktioner för in- och utresa. Skär av brandkällan. Det rekommenderas att räddningspersonal bär fristående andningsskydd med övertryck och skyddskläder. Klipp av källan till läckaget så mycket som möjligt. Rimlig ventilation och accelererad diffusion. Späd och lös upp med sprayvatten. Bygg vallar eller gräv gropar för att innehålla en stor mängd avloppsvatten som genereras. Om möjligt, använd en frånluftsfläkt för att leverera den läckta gasen till ett öppet område eller installera ett lämpligt munstycke för att bränna bort det. Läckagebehållare bör hanteras, repareras och inspekteras korrekt före användning.
2、 Skyddsåtgärder
Andningsskydd: Under normala arbetsförhållanden, bär en filtrerad gasmask (helmask). I miljöer med hög koncentration är det nödvändigt att bära andningsskydd eller syrgasrespirator. Det rekommenderas att bära andningsskydd vid akut räddning eller evakuering.
Ögonskydd: Använd kemikalieskyddsglasögon.
Kroppsskydd: Bär en självhäftande gasjacka i maskstil.
Handskydd: Använd gummihandskar.
Övrigt: Röka, äta och dricka är strängt förbjudet på arbetsplatsen. Efter jobbet, ta en dusch och byt kläder. Behåll goda hygienvanor. Inträde i tankar, begränsade utrymmen eller andra områden med hög koncentration för arbete måste övervakas av någon.
3、 Åtgärder vid första hjälpen
Inandning: Flytta snabbt från platsen till en plats med frisk luft. Behåll luftvägarnas öppenhet. Om det är svårt att andas, administrera syrgas. Om andningen upphör, utför omedelbart konstgjord andning. Sök läkarvård.
Brandsläckningsmetod: Brandmän måste bära gasmasker av filtertyp (helmasker) eller andningsskydd av isoleringstyp, bära brand- och gasskyddskläder för hela kroppen och släcka elden i motvind. Klipp av luftkällan. Om gaskällan inte omedelbart kan stängas av är det inte tillåtet att släcka den brinnande gasen. Spraya vatten för att kyla behållaren, och om möjligt flytta behållaren från elden till ett öppet område. Släckmedel: sprayvatten, skum, torrt pulver, koldioxid.
